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行業新聞（wén）

首發19億一台的光刻機！Intel將派人幫助ASML加速生產

發布時間：2022-03-23 01:11:45瀏覽（lǎn）次（cì）數：51

包括AMD及NVIDIA在內的半導體（tǐ）公司都預測今年下半年全球（qiú）芯片產能緊張的局麵就會緩解，然而生產光刻機的ASML公司（sī）對此表示質疑，該公司（sī）CEO Peter Wennink日前警告稱半導體芯片（piàn）製（zhì）造公司的生產計劃野心勃勃，但可能麵臨設備短缺。

Peter Wennink在采（cǎi）訪（fǎng）中表示，盡管各大半（bàn）導體公（gōng）司（sī）投資了數十億甚（shèn）至數百億美元以提高產能，然而他們並不可能快速提高產能，因為製約產能的還有半導體設備。

就連ASML公（gōng）司自己（jǐ）的光刻機生產都受（shòu）到了限製（zhì），不過Intel CEO基辛格此前表示他們已經派人去幫助ASML公司加速生產。

Intel並沒有（yǒu）提及他們派出多少工程師以（yǐ）及是怎樣幫助ASML提高光刻機產量的，但是他們很可能協助ASML加速新（xīn）一代EUV光刻機的生產。

現（xiàn）在的EUV光刻（kè）機還是NA 0.33技術的，Intel的重點押注在（zài）了下一代EUV光刻機，也就是NA 0.55的ASML新一代（dài）光刻（kè）機，據說成本高達3億美元，約合19億元。

實際上4年來Intel實際上已經下單了6台NA 0.55的EUV光刻機，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000係列主要用（yòng）於（yú）工藝（yì）研發，產能輸（shū）出是185WPH，每小時生產185片晶圓，2023年上半年交付。

量（liàng）產型的NA 0.55光刻機是（shì）Twinscan Exe:5200，產能提（tí）升（shēng）到200WPH，每小時200片晶圓（yuán），預計會在2024年下線，Intel的20A工藝正好是在2024年量產。

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